型號：ZR9-GXG-201

三元素分析儀三元素檢測儀三元素測定儀

描述：三元素分析儀能快速測定硅、錳、磷的含量。
本儀器適用于鋼、銅等金屬的三元素分析，也可用于各種溶液中的三元素含量的測定

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三元素分析儀（硅、錳、磷含量測定儀） 型號:ZR9-GXG-201

三元素分析儀能快速測定硅、錳、磷的含量。
本儀器適用于鋼、銅等金屬的三元素分析，也可用于各種溶液中的三元素含量的測定

產(chǎn)品名稱：薄膜測試儀/能薄膜性測試儀
產(chǎn)品型號：HZ-DHFC-1

薄膜測試儀/能薄膜性測試儀型號：HZ-DHFC-1

儀器由四探針測試儀和薄膜電導率測量儀兩分組成。具有測量度、靈敏度、穩(wěn)定性好、測量范圍寬、結構緊湊、使用方便等點。儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能的測試。

四探針測試儀由主機、測試架等分組成?？梢詼y量片狀、塊狀半導體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）、能材料暗電導和光電導及溫度的變化的性，還可以對金屬導體的低、中值電阻行測量。測試探頭采用寶石導向軸套和耐磨碳化鎢探針制成，故定位準確、游移率小、壽命長。

薄膜電導率測量儀由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、阻測量系統(tǒng)等分組成。

◆ 測量范圍：電阻測量范圍：1×106～1×1017Ω；

電阻率：0.001～200Ωcm；

電導率：0.005～1000s/cm；

◆ 可測晶片直徑： 200mmX200mm；

◆ 探針：碳化鎢或速鋼；探針間距：1±0.01mm；

◆ 針間緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；

◆ 本底真空度：≤10Pa，氣壓可控范圍：10～400Pa；

◆ 襯底加熱溫度：室溫～200℃。

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