質(zhì)量量控制器

更新時(shí)間：2012-07-21 | 點(diǎn)擊率：695

HAD-D07-7B型質(zhì)量量控制器

儀器簡介：

質(zhì)量量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量量行地測量和控制。廣泛用于電子設(shè)備、真空鍍膜、石油化、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

參數(shù)：

滿量程量范圍（N2）	5SCCM～10SLM
控制范圍	2～100％F.S.
閥類型（及閥初始狀態(tài)）	電磁調(diào)節(jié)閥（常閉）
準(zhǔn)確度	±1.5％F.S.
線性	±0.5～1.5％F.S.
重復(fù)度	±0.2％F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤7sec
作溫度范圍	5～45℃
作壓差	0.1～0.5MPa
耐壓	3MPa
漏氣率	1×10-8atm.cc/sec He
密封材料	氟橡膠（或氯丁橡膠）
電插頭形式	DB15 pin（Female）
接頭選擇	VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量	1.1Kg

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